規格
X500L
X500
測試方法
相位差
最大測試尺寸
610×500mm
最小測試尺寸
不限
板厚測試范圍
0.05-3.2mm
飛針探頭數目
2上
CCD Cameras數目
最小Pad Pitch
120μm
80μm
最小Pad Size
75μm
50μm
重復精度
±10μm
±3μm
分辨率
6μm
2μm
板架系統
真空吸盤
自動標記系統
可選配
空壓要求
0.3-0.4Mpa,5.7L/min
外型尺寸
150×135×115cm
重量
1100kg